SOURCE: SPP Process Technology Systems UK Ltd and Griffith University

SPP Process Technology Systems UK Ltd and Griffith University

May 26, 2011 17:07 ET

SPP Process Technology Systems (SPTS) e a Griffith University da Austrália Assinam Contrato de Desenvolvimento Conjunto para Criar a Tecnologia Silicon Carbide (SiC) on Silicon

Contrato de Três Anos Tem como Meta Comercializar SiC-On-Si como Material de Semicondutor Viável para os Dispositivos de LED, Energia e MEMS

SAN JOSE, CALIFÓRNIA, e BRISBANE, AUSTRÁLIA--(Marketwire - May 26, 2011) - A SPP Process Technology Systems (SPTS), fabricante líder de equipamentos de plasma etch, deposição e processamento térmico para as indústrias de semicondutores e produtos relacionados e a Griffith University da Austrália anunciaram hoje um contrato de desenvolvimento conjunto (JDA em inglês) com foco na comercialização da tecnologia Silicon Carbide (SiC) on Silicon (Si). Os substratos da SiC on Si têm uma ampla variedade de aplicações para os mercados que crescem rapidamente de diodo emissor de luz (LED em inglês), sistemas microeletromecânicos (MEMS em inglês) e Energia.

SiC é um substrato importante para desenvolver filmes GaN usados na fabricação de LEDs. Maior robustez de radiação, força mecânica e propriedades térmicas do SiC também o tornam uma substituição ideal para o silício em dispositivos MEMS para ambientes extremamente difíceis. Além disso, o SiC é usado para criar dispositivos de semicondutores para aplicações de alta energia e alta frequência onde as propriedades elétricas do SiC são substancialmente superiores ao silício comum. A tecnologia criada pela equipe de pesquisas da Queensland Microtechnology Facility (QMF) do Queensland Micro- and Nanotechnology Centre (Centro de Micro e Nanotecnologia de Queensland) da Griffith University(QMNC), demonstrou que tem capacidade de desenvolver SiC cristalino diretamente em wafers de silício de baixo custo. Através do JDA, a SPTS desenvolverá a expertise em processo térmico e equipamentos necessários para comercializar a tecnologia.

Três tecnologias chaves necessárias para os dispositivos SiC on Si são deposição, etch e oxidação SiC. O QMNC orientou comercialmente pesquisa em todas estas áreas. "O JDA permite transferência desta tecnologia de processo de deposição SiC para pesquisa de dispositivos e atividades de desenvolvimento e fornece uma ponte para produção em volume através de processamento de lotes de wafers de Si de até 300mm de diâmetro. A força daSPTS em processamento térmico a torna uma parceira atraente", disse Alan Iacopi, Diretor de Operações do QMNC. "Este JDA é um passo importante na comercialização dos nossos esforços de pesquisa SiC, especialmente com uma parceria com alcance global como a SPTS", concordou Sima Dimitrijev, Líder de Projeto e Diretor Interino do QMNC.

"Como líder de mercado fornecendo equipamento superior para os mercados de MEMS, LED e Energia, a SPTS está constantemente à procura de oportunidades de desenvolvimento avançadas. Estamos muito contentes de termos esta oportunidade de trabalharmos com pesquisadores líderes da Griffith University na comercialização da sua tecnologia SiC on Si", disse William Johnson, presidente e CEO da SPTS. "Fornecer expertise em produção para esta colaboração e ajudar no desenvolvimento e fornecimento de nova tecnologia de processamento de materiais é uma estratégia empresarial importante. Este JDA melhora ainda mais o portfólio de produtos para os mercados que atendemos e nos ajudará a ampliar a nossa base de clientes".

Sobre a SPP Process Technology Systems

A SPP Process Technology Systems foi estabelecida em outubro de 2009 como veículo para a fusão da Surface Technology Systems com os ativos adquiridos da Aviza Technology. A empresa é uma subsidiária integral da Sumitomo Precision Products Co., Ltd., e desenvolve, fabrica, vende e presta serviços para equipamentos essenciais de semicondutores avançados e tecnologias de processamento para a indústria de semicondutores global e mercados relacionados. Esses produtos são usados em uma grande variedade de segmentos do mercado, incluindo pesquisa e desenvolvimento, armazenamento de dados, MEMS e nanotecnologia, empacotamento 3-D avançado, LEDs e circuitos integrados de energia para comunicações.

Para informações adicionais sobre a SPTS, favor acessar www.spp-pts.com.

Sobre o QMNC e QMF

O Queensland Micro- and Nanotechnology Centre é um centro de ciências e pesquisas de engenharia sediado na Griffith University e tem como foco as questões relacionadas com micro e nanotecnologias essenciais para o desenvolvimento de sistemas limpos e inteligentes. O Centro reúne pesquisadores com conhecimento em desenvolvimento de materiais, sensores, engenharia microeletrônica, microtecnologia e a teoria fundamental de matéria condensada abrangendo todas as disciplinas de física, química, matemática aplicada e engenharia. A Queensland Microtechnology Facility, do QMNC, tem como foco a tecnologia SiC on Si líder para comercialização. Fundada pelo Governo Estadual de Queensland e a National Fabrication Facility da Austrália, ela possui grande capacidade de processamento na fabricação de wafer de silício e permite a pesquisa e desenvolvimento de material SiC on Si para dispositivos mecânicos e semicondutores.

Para informações adicionais, favor acessar www.griffith.edu.au/qmnc.

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